山东传感器双面接触式电容压力传感器由3个硅晶片用硅熔融法进行键合,先把晶片A正反两面腐蚀两个同样大小的沟槽来作为传感器的真空腔,然后在这两个大沟槽上淀积一层二氧化硅作为绝缘层,同时把晶片A作为双面接触式电容压力传感器的公共下电极,接着把两片用浓的固态硼扩散好的晶体B用熔融键合的办法键合在晶片A的正反两面。传感器价格用离子刻蚀法刻蚀掉晶片B外层的重掺杂层,紧接着用自停止腐蚀法去掉轻掺杂层,得到里面的重掺杂层作为传感器的上电极。
山东传感器压力传感器在液压系统中主要是来完成力的闭环控制。当控制阀芯突然移动时,在极短的时间内会形成几倍于系统工作压力的尖峰压力。传感器价格需要使用抗冲击的压力传感器,压力传感器实现抗冲击主要有2种方法,一种是换应变式芯片,另一种方法是外接盘管,一般在液压系统中采用前面一种方法,主要是因为安装方便。此外还有一个原因是压力传感器还要承受来自液压泵不间断的压力脉动。在典型的行走机械和工业液压中,如果设计时没有考虑到这样的工况,任何压力传感器很快就会被破坏。
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