随着社会的发展,力传感器行业也取得了一系列重大突破,其应用范围也是越来越广泛,无论是从生产、生活还是到国防等高科技领域都有着传感器不可或缺的影子,其未来产业增速有望达到30%。
我们在选择力传感器的时候我们要考虑他的综合精度,而哪些因素会造成力传感器精度的误差呢,其实造成传感器误差的因素有很多,下面我们注意说几个无法避免的误差,这是传感器的初始误差:
1.线性误差:这是一个对力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性,线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。
2.偏移量误差:由于力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。
3.灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比,如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数,如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数,该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
4.滞后误差:在大多数情形中,力传感器的滞后误差可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度,一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。
我们只能选择高精度的生产设备,利用高新技术来降低这些误差,还可以在力传感器厂家出厂的时候进行一点的误差校准,尽可能来降低误差以满足客户的需要。
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