微型测力传感器是至少具有一个亚毫米级物理尺寸的传感器,桥式电路由一个或多个在受力后会变形的弹性体和一个可以感知该变形的电阻应变仪组成,并且电阻应变仪可以固定并粘贴在弹性体上,微型测力传感器由三部分组成,可以传导一些应变的粘合剂和保护电子电路的密封剂。
1.微型测力传感器的结构
微型测力传感器的弹性元件,壳体,隔膜,上压力头和下压力垫的设计要确保结构在加载后没有性能波动,或者性能波动很小,因此,在设计微型测力传感器时,应尽可能确保应变区具有单一作用力且应力均匀,贴片部分应平整,该结构要对偏心载荷和侧向载荷具有一些抵抗力,安装力应远离应变区,并且在测量过程中应避免承载点的移动,尽管微型测力传感器是组装产品,但是为了确保良好的技术性能和长期稳定性,应尽可能将其设计为整体结构。
2弹性元件的金属材料
弹性元件的金属材料在微型测力传感器的综合性能和长期稳定性中起着关键作用,具有较高的强度和限制弹性,良好的时间和弹性模量的温度稳定性,低弹性滞后,并通过机械加工和热处理产生的残余应力低的材料应选择,一些数据表明,只要淬火后材料的可塑性良好,其在机加工和热处理后的残余应力就很小,还应特别注意弹性模量随时间的稳定性,并且要求材料的弹性模子在微型测力传感器的使用寿命期间不发生变化。
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